磁控溅射电源
Magnetron Sputtering
精新电源提供国内领先的多种规格的磁控溅射电源，包括中频磁控溅射电源、非对称脉冲磁控溅射电源等，可广泛适用于各类离子镀膜PVD工艺。
JX-MS-D直流磁控溅射
功率可达300KW，适用于太阳能电池制造，建筑玻璃等尖端直流等离子体镀膜工艺
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JX-DP单级脉冲磁控溅射/偏压多功能镀膜电源
20kw,30kw,40kw等多型号可选，最大频率可达150kHz，对标霍廷格4020，可完美匹配各种PVD工艺
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JX-MS-B双极脉冲磁控溅射
具有宽广的输出范围和较好的适配性。是工业界大面积镀膜以及双磁控反应溅射工艺的理想选择
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JX-MS-BP非对称双极磁控溅射
适用采用两个不同尺寸，不同材料的靶材的工艺。可镀碳化膜、氮化膜、氧化膜
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JX-MS-FM多波形磁控溅射电源
六种脉冲波形输出，增加脉冲波形选择灵活性。该电源在恒压模式下可用作偏压电源
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