JX-MSB高频脉冲磁控溅射/偏压多功能镀膜电源
20kw,30kw,40kw等多型号可选,溅射偏压双模式,最大频率可达150kHz,对标霍廷格4020,可完美匹配各种PVD工艺
参数指标
指标 参数
电压范围 265VAC ~ 475VAC 三相五线制VAC
频率范围 45Hz ~ 66Hz
指标 参数
平均功率
  • 负脉冲20kW,30kW,40kW多型号可选
  • 正脉冲3.5kW
输出波形
  • 负向直流
  • 正向直流
  • 负向单极脉冲
  • 正向单极脉冲
  • 非对称双极脉冲
输出电压 +(1V ~ 120V) , -(50V ~ 1000V)
输出平均电流
  • 负脉冲 0A ~ 68A
  • 正脉冲 0A ~ 30A
输出频率 40KHz ~ 150KHz
脉冲占空比 5%~95%
指标 参数
THD(谐波失真) <5%(50% ~ 100%负载)
功率因数 > 99%
通讯接口 RS-485, 以太网
通讯协议 modbus(标配),Profibus(选配),EtherCAT(选配)
散热 风冷、水冷混合
MTBF (平均无故障间隔时间) ≥100000H
电源保护 过压、过流、过荷、功率器件损坏、电源过热、负载过热、门禁、工作连锁
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