| 指标 | 参数 |
|---|---|
| 电压范围 | 265VAC ～ 475VAC 三相五线制VAC |
| 频率范围 | 45Hz ～ 66Hz |
| 指标 | JX-HiPIMS-Pro-20 | JX-HiPIMS-Pro-40 | JX-HiPIMS-Max |
|---|---|---|---|
| 输出脉冲电压 |
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| 输出脉冲峰值电流 | 0 ～ 1000A | 0 ～ 2000A | 0 ～ 2000A |
| 输出平均/峰值功率 | 20KW/2MW | 40KW/4MW | 40KW/4MW |
| 荷靶模式 |
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| 占空比 | 0.5% ～ 40% | ||
| 输出频率 | 200Hz ~ 5000Hz可调 | ||
| 脉冲宽度 | 3μs ～ 100us | ||
| 电流上升时间 |
＜3μs 注：视点火电压和负载阻抗而定 |
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| 工作模式 | 恒压、恒流、恒功率、PT动态模式(仅Max版) | ||
| 抑弧方式 |
独家设计微分法检测 动态弧能量跟踪 可编程弧参数设置 弧能量控制在＜0.2mJ/KW |
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| 电源效率 | 峰值效率≈96.3% | ||
| 指标 | 参数 |
|---|---|
| THD(谐波失真) | <5%(50% ～ 100%负载) |
| 功率因数 | > 99% |
| 通讯接口 | RS-485， 以太网 |
| 通讯协议 | modbus(标配)，Profibus(选配)，EtherCAT(选配) |
| 散热 | 风冷、水冷混合 |
| MTBF (平均无故障间隔时间) | ≥100000H |
| 电源保护 | 过压、过流、过荷、功率器件损坏、电源过热、负载过热、门禁、工作连锁 |
